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日本filmetrics膜厚测量系统

型号:F20

产品价格:电议      采购度:348      发布时间:2022/3/16 14:03:16

仪器产地:中国大陆      所属地区:

简要描述: 日本filmetrics膜厚测量系统F20
一种行业标准、低价、多功能的台式薄膜厚度测量系统,已在全球安装了 5,000 多台。它可用于从研发到制造现场在线测量的广泛应用。
F20基于光学干涉法可在1左右轻松测量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系数。

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 日本filmetrics膜厚测量系统F20

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主要特点

 

  • 支持广泛的膜厚范围(1 nm 至 250 μm)
  • 支持宽波长范围(190nm 至 1700nm)
  • 强大的膜厚分析
  • 光学常数分析(折射率/消光系数)
  • 紧凑的外壳
  • 支持在线测量

一种行业标准、低价、多功能的台式薄膜厚度测量系统,已在全球安装了 5,000 多台。它可用于从研发到制造现场在线测量的广泛应用。
F20基于光学干涉法可在1左右轻松测量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通讯,因此可以通过PLC或上位机进行控制。

主要应用

平板半导体光学镀膜薄膜太阳能电池医疗的
单元间隙、聚酰亚胺、ITO、AR膜、
各种光学膜等。
抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
防反射膜、硬涂层等
CdTe、CIGS、非晶硅等
砷化铝镓(AlGaAs)、磷化镓(GaP)等
钝化、药物涂层等

产品阵容

模型F20-UVF20F20-近红外F20-EXRF20-UVX测量波长范围膜厚测量范围准确性*测量光斑直径光源
190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm 380 – 1700nm 190 – 1700nm
1nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm 15nm – 250μm 1nm – 250μm
± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度 ± 0.2% 薄膜厚度
1纳米 2纳米 3纳米 2纳米 1纳米
支持高达1.5 毫米或 0.5 毫米
小 0.1 毫米(可选)

氘·

卤素

卤素

氘·

卤素

* Filmometry 提供的测量 Si 基板上的 SiO2 膜时器件主体的精度。

更新时间:2024/4/26 16:29:15

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