服务热线：
17786036115
服务热线：
17786036115
型号：F54
产品价格：电议 采购度：394 发布时间：2022/3/17 9:45:32
仪器产地：中国大陆 所属地区：
简要描述： 日本filmetrics显微自动膜厚测量系统F54
F54显微自动膜厚测量系统是将微小区域内的高精度膜厚/光学常数分析功能与自动高速载物台相结合的系统。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板，它可以以的速度在点测量薄膜厚度和折射率。
F54显微自动膜厚测量系统是将微小区域内的高精度膜厚/光学常数分析功能与自动高速载物台相结合的系统。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板，它可以以的速度在点测量薄膜厚度和折射率。
兼容5x至50x物镜，测量光斑直径可根据应用选择1μm至100μm。
抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅、抛光硅片、化合物半导体、ⅬT衬底等。 |
| 有机膜、聚酰亚胺、ITO、单元间隙等 |
模型
F54-UV
F54
F54-近红外
F54-EXR
F54-UVX
测量波长范围
膜厚测量范围
5倍
10倍
15倍
50倍
100倍
准确性*
| 190 – 1100nm | 400 – 850nm | 950 – 1700nm | 400 – 1700nm | 190 – 1700nm |
| ———— | 20nm-40μm | 40nm – 120μm | 20nm – 120μm | ———— |
| ———— | 20nm – 35μm | 40nm – 70μm | 20nm – 70μm | ———— |
| 4nm – 30μm | 20nm-40μm | 40nm – 100μm | 20nm – 100μm | 4nm – 100μm |
| ———— | 20nm – 2μm | 40nm – 4μm | 20nm – 4μm | ———— |
| ———— | 20nm – 1.5μm | 40nm – 3μm | 20nm – 3μm | ———— |
| ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | 2纳米 | 1纳米 |
可以测量硅晶片上的氧化膜和抗蚀剂。
结合基于光学干涉原理的膜厚测量功能和自动高速载物台的系统
兼容5x到50x物镜，测量光斑直径可根据应用从1μm到100μm变化。
兼容 2 英寸至 450 毫米的硅基板
更新时间：2024/1/2 10:42:42
温馨提示
1.遵守中华人民共和国有关法律、法规，尊重网上道德，承担一切因您的行为而直接或间接引起的法律责任。
2.请您真实的反映产品的情况,不要捏造、诬蔑、造谣。如对产品有任何疑问,也可以留言咨询。
3.未经本站同意，任何人不得利用本留言簿发布个人或团体的具有广告性质的信息或类似言论。
日本山電YAMADENco.,ltd.廉价型质构仪物性测定器TPU-2D
型号：
日本山電YAMADENco.,ltd.廉价型质构仪物性测定器
型号：TPU-2D
日本饭岛电子IIJIMA氧气分析仪，食品用氮气填充机的O2管理
型号：IS-700
地址： 武汉市江夏区经济开发区汤逊湖... 
电话： 17786036115
邮箱： 2176518131@qq.com阿仪网设计制作，未经允许翻录必究
主营产品：滑坡预警监测仪、裂缝位移计、裂缝报警器，扬尘监测仪、多参数水质监测仪。
扫码关注我们！
总访问量：974284
